TEL, 차세대 반도체 미세 공정용 재활용 기술 개발

반도체 장비업체인 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 차세대 반도체 공정의 비용을 획기적으로 줄일 수 있는 재활용 기술을 개발하는 데 성공했다.

도쿄일렉트론은 다나카기킨조쿠쿄교와 공동으로 미세 반도체 공정에 사용되는 재료인 ‘루테늄’을 재활용할 수 있는 기술을 개발 완료했다고 25일 밝혔다.

루테늄은 반도체 소자의 성능과 크기를 개선하는 데 사용되는 희유금속 물질로 전 세계적으로 매장량이 30톤에 불과하다. 하지만 지금까지는 루테늄을 재활용할 수 있는 방법이 없어 반도체 제조공정에서 많은 비용이 소요됐다.

도쿄일렉트론과 다나카기킨조쿠쿄교 측은 이번에 개발한 기술을 양산 적용할 경우 재료비의 20% 가까이를 줄일 수 있고, 이산화탄소 배출량도 30% 정도 절감할 수 있을 것으로 내다봤다.

서한기자 hseo@etnews.co.kr