멤스프로브카드용 초정밀 세라믹 소재, 첫 국산화

　그동안 전량 일본에서 수입한 반도체 테스트 장비용 초정밀 세라믹소재를 한 중소기업이 첫 양산, 공급에 성공했다. 초정밀 세라믹소재는 반도체 최종 테스트 장비에 장착되는 ‘멤스 프로브카드’를 생산하는 데 사용된다.

　파인세라믹 제조기업인 아이엠텍(대표 이재석)은 지난 2분기부터 국내 한 반도체 검사장비기업에 멤스 프로브카드용 초정밀 세라믹소재를 공급하기 시작했다. 검사장비기업은 국산 세라믹소재를 바탕으로 생산한 멤스 프로브카드를 삼성전자·하이닉스 등 반도체업체에 양산용으로 납품 중이다.

　초정밀 세라믹은 원자간 결합력이 강해 고열을 가해도 팽창하거나 형태가 변하지 않는 신소재다. 모델별로 1장당 1000만~6000만원에 달하는 고부가가치 소재지만 일본 교세라·NTK 등으로부터 전량 수입해왔다. 아이엠텍은 현재 월 100장 규모의 초정밀 세라믹 생산라인이 있으며, 향후 생산량을 늘릴 계획이다.

　일본업체들의 초정밀 세라믹 독점 공급 구조가 깨짐에 따라 향후 원가 인하 효과도 제고할 수 있을 것으로 기대된다. 아이엠텍은 이외에도 발광다이오드(LED) 모듈 제조용 인쇄회로기판(PCB) 소재로도 초정밀 세라믹을 생산할 예정인 것으로 알려졌다.

　세라믹은 PCB 기본소재로 사용되는 에폭시수지보다 열 전달력이 높다. LED에서 발생한 열을 즉시 외부로 방출해 LED 발광효율이 떨어지는 것을 방지해준다.

　업계 관계자는 “세라믹은 온도 안정성이 높고 열 전달이 빨라 차세대 전자재료로 각광받고 있다”며 “초정밀 세라믹 생산은 그동안 일본업체들이 독점하고 있던 구조를 깼다는 점에서 의미가 있다”고 말했다.

　

　멤스 프로브카드=반도체 웨이퍼상에 형성되어 있는 각각의 IC 칩의 회로가 설계대로 생성돼 있는지 검사하는 소모성 부품이다. 수 마이크로미터(㎛) 단위의 회로까지 검사할 수 있는 ‘멤스(MEMS)’ 기술이 접목됐다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr