반도체·LCD 호황에 NF3 시장도 ’후끈’

　반도체·LCD 경기 호황이 이어지면서 생산 공정에서 사용하는 핵심 소재인 ‘삼불화질소(NF₃)’ 시장도 후끈 달아오르고 있다. 특히 지난달 일본 NF₃공급업체인 미쓰이화학이 화재 사고로 생산 설비가 파괴되면서 국내 업체가 반사 이익을 누리고 있다.

　소디프신소재·후성·효성 등 국내 주요 NF₃업체는 최근 반도체·LCD 업황 상승에 힘입어 생산량을 늘리고 증설 계획을 서두르고 있는 것으로 나타났다. NF₃는 반도체·LCD 생산 중 CVD 공정에서 기판에 증착되지 않고 장비 내벽에 묻은 잔류물을 제거하는 데 사용된다. 모노실란·헬륨과 함께 반도체·LCD 생산에 사용되는 특수가스 중 가장 많은 양을 차지한다.

　최근 반도체·LCD 경기 상승에 따라 수요량은 늘었지만 일본 미쓰이화학 화재 사고로 공급은 오히려 줄었다. 미쓰이화학은 지난해 기준으로 전 세계 NF₃시장의 16%(약 170톤)를 차지했다. 이에 따라 국내 업체는 공급량을 늘리고 계획했던 라인 증설 작업에도 박차를 가하고 있다.

　국내 최대 반도체·LCD용 특수가스 생산업체인 소디프신소재는 경상북도 영주에 연 2500톤 규모의 NF₃생산 공장을 갖추고 있다. 모노실란·육불화텅스텐 등 다양한 특수가스를 생산하는 이 회사는 최근 NF₃공급량이 대폭 증가했다. 2011년까지 3000톤 규모의 생산설비를 증설, 총 5500톤까지 생산 능력을 확대할 계획이다. 우선 내년에만 1000톤 규모의 신규라인의 가동에 들어간다.

　지난해 울산화학을 흡수합병, 특수가스 사업에 박차를 가하고 있는 후성은 현재 울산 공장에서 연간 600톤 가량의 NF₃를 생산하고 있다. 장기적으로 1200톤까지 생산능력을 늘리기로 했다. 연간 300톤 가량의 NF₃를 공급하고 있는 효성도 생산능력을 높이기 위한 작업에 착수했다.

　업계 관계자는 “통상 분기별로 단가가 인하됐던 NF₃가격이 최근 kg당 40달러 선에서 머무르고 있다”며 “업체들이 증설에 나선다 해도 단기간에 생산능력을 높이기는 어려운 만큼 현재의 수급상황은 한동안 지속될 것”이라고 말했다.

　안석현기자 ahngija@etnews.co.kr

　<용어 설명>

삼불화질소(NF₃)=반도체·LCD·태양전지 제조공정에 사용되는 특수 가스의 일종이다. 증착 공정 후 장비 내에 남아 있는 잔류물을 제거하기 위해 사용한다. 증착기 내부에 NF₃를 주입하면 불순물과 화학 반응을 일으켜 모두 제거된다.