하나실리콘-삼성전자, 400mm 실리콘 잉곳 개발

　 하나마이크론 계열사인 하나실리콘(대표 최창호)은 삼성전자와 공동으로 반도체 핵심 장비인 드라이식각(에칭)장비 등에 전극으로 사용하는 소모성 실리콘 부품(캐소드·링) 원재료인 400㎜ 실리콘 잉곳을 국내 첫 개발했다고 23일 밝혔다.

하나실리콘은 이로써 지금까지 일본 등 전량 외국에 의존해던 대구경 웨이퍼 식각 장비용 부품 소재인 400㎜ 잉곳을 수입대체할 것으로 기대했다. 하나실리콘 측은 “400㎜ 실리콘 잉곳은 생산 라인에 투입한 식각 장비에 사용할 정도로 품질이 우수하다”며 “이를 계기로 부품 원가 절감은 물론 300㎜ 웨이퍼 생산 기업을 대상으로 판매 활동에 나선다”고 말했다.

하나실리콘은 이로써 480㎜ 실리콘 잉곳 기술 개발의 발판을 마련했다. 삼성전자·인텔·TMC 등이 2012년께 450㎜ 반도체 웨이퍼 파일럿 라인을 도입키로 함에 따라 450㎜ 웨이퍼 대응이 가능한 대구경 잉곳 성장 기술 개발이 매우 절실한 상황이다.

하나실리콘은 삼성전자와 협력해 새해 2차 년도 대구경 실리콘 잉곳 개발 계획에 들어간다. 하나실리콘은 삼성전자와 지난 6월부터 총 3년 간 개발 일정으로 지식경제부 지원을 받아 480㎜ 실리콘 잉곳을 개발해왔다. 하나실리콘 측은 “3 년 간 기술개발 계획에 따라 본 과제를 성실히 수행, 2012년 이후 450㎜ 웨이퍼 공정에 실리콘 부품을 직접 공급함으로써 수입대체·원가절감·생산성 향상 등을 이루겠다”고 밝혔다.

안수민기자 smahn@etnews.co.kr