차세대메모리중 하나인 M램(강자성메모리)을 겨냥한 증착장비가 나왔다.
아비자테크놀로지코리아(지사장 정태균)는 300mm 웨이퍼용 이온빔 증착시스템 ‘스트래티온(StratIon) fxP’를 출시한다고 11일 밝혔다. 이 장비는 M램의 핵심인 자기터널접합(MTJ)을 개발하는데 쓰인다. M램의 특성에 맞게 낮은 압력에서 필름의 두께가 10Å인 초박막을 증착할 수 있다. 10∼15개 층을 적층할 수 있다. 막의 편평도도 뛰어나다고 회사 측은 덧붙였다. 지금까지 나온 반도체소자를 위한 물리증착장비(PVD)는 필름의 두께가 100Å이며, 2∼3개 층을 쌓는다.
회사 측은 국내 한 고객사와 웨이퍼레벨의 테스트를 진행중이라고 설명했다.
설성인기자 siseol@etnews.co.kr
