이응숙 한국기계연구원 박사가 교육과학기술부와 한국과학재단이 공동 선정하는 ‘이달의 과학기술자상’ 8월상 수상자로 선정됐다.
이 박사는 나노 구조물을 경제적이고 효과적으로 제작할 수 있는 ‘대면적 나노임프린트 공정 및 응용기술’을 개발한 공로를 인정받았다. 이 기술은 50㎚(1㎚=10억분의1ｍ)급 나노패턴을 만들 수 있다. 이 박사는 관련연구를 통해 30여 편의 국내외 논문을 게재했고, 50여 건의 특허를 보유하고 있으며, 3종류의 관련 장비를 상용화했다.
나노임프린트는 반도체 제조공정에서 5㎚ 이하의 선폭도 구현할 수 있으며, 현재 반도체 공정의 핵심기술로 사용되고 있는 광 리소그래피공정을 대체할 차세대 나노광기술로 기대를 모으고 있다.
이 박사는 “이 공정기술을 사용하면 기존 나노임프린트 공정에 비해 10배 이상 공정 속도를 향상시켜 공정 단가와 장비 단가를 50% 이상 낮출 수 있다”고 말했다.
권건호기자 wingh1@
