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유진테크, 반도체장비 관련 특허취득

유진테크는 히터 써포트 및 이를 이용한 화학기상증착장치와 씰 장착부를 구비한 분할형 이송챔에 관한 특허를 취득했다고 20일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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