진공장비 전문업체인 알파플러스(대표 황도원 www.alpa-plus.co.kr)는 진공박막 형성장비 분야의 선두기업이다.
지난 2005년 국내 최초로 기존 물리증착(PVD)방식에서 한 단계 앞선 초고진공 박막형성장비인 분자선증착시스템(MBE)을 개발했다.
이 제품은 물리증착장비에 비해 나노스케일의 초고진공 반응관을 사용하기 때문에 정밀한 결정성장이 필요한 분야에서는 필수장비다.
그동안 이 업체는 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법, 복사열로 이용하는 진공증발원, 대면적 기판의 박막균일도 조절이 가능한 진공증발원, 진공증발물질 연속공급장치 등 진공과 관련한 12건의 특허를 출원했다.
알파플러스는 그동안 반도체, 디스플레이, 모바일 생산용 진공증착장비를 주로 생산해오다 최근 차세대 박막형 태양전지 제조용 진공증착장비를 개발했다.
이번에 개발한 박막형 태양전지 제조용 진공증착장비는 화합물 반도체방식을 채택, 실리콘웨이퍼 방식에 비해 가격이 40%가량 저렴하고, 효율도 두 배나 높다는 것이 회사 측의 설명이다.
현재 국내 연구소는 물론이고 태양전지를 생산하는 대기업과 공급을 위한 협의를 진행 중이다. 최근 태양전지 생산기업들이 크게 늘면서 수요도 대폭 늘어날 것으로 기대하고 있다.
이 회사는 내년 안으로 가로 세로 30×30㎝ 크기 이상의 대면적에 대응할 수 있는 진공증착장비를 개발할 계획이다.
황도원 사장은 “지난해 진공증착장비로 20억원의 매출을 올렸다”며 “올해는 박막형 태양전지 제조용 진공증착장비 공급으로 40억원 이상의 매출을 달성할 수 있을 것”이라고 말했다.
포항=정재훈기자@전자신문, jhoon@
