HNC, 클린룸용 배기구 조립체 특허 취득

HNC(대표이사 임재영)는 ME시스템의 응용 제품인 ‘클린룸용 배기구 조립체’를 특허 취득 했다고 20일 밝혔다.

디스플레이 생산 공장의 ME시스템에 사용하는 이 배기구 조립체는 생산 장비로 인해 수직 층류를 유지할 수 없는 경우 발생하는 기류 와해 현상을 줄이고 청정도를 유지하기 위한 장치로 클린룸 측면 하부에 설치하여 배기량을 조절하는 장치다.

HNC 관계자는 "ME 시스템 내의 편류와 파티클 부상으로 인한 2차 오염을 방지하기 위해 설치하는 이 배기구 조립체는 클린룸 하부에 배기 시스템을 구축할 공간이 부족한 경우 손쉽게 설치할 수 있어 시공 편의성을 높이고 생산 수율을 높이는데 기여할 것으로 보인다"라고 밝혔다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr