나노전광(대표 김종수 www.nanoeo.com)은 반도체 검사 및 후공정 장비 기업으로 탄탄한 입지를 다져가고 있다.
반도체에 광학 기술을 접목, 수요자의 눈 높이에 맞춘 틈새 시장 공략에 적극 나서고 있다.
이 회사의 강점은 기술력에서 찾을 수 있다. 전체 직원 8명 가운데 1명을 제외한 7명이 모두 엔지니어일 정도로 반도체장비·기계설계·광학·반도체 공정 등에서 핵심 기술력을 확보하고 있다.
성장성 결함 가속 및 검출기 ‘헤이즈 엑셀러레이터(Haze Accelerator)’는 이 회사의 주력 제품으로 꼽힌다. 반도체 불량의 주 원인으로 꼽히는 ‘헤이즈(haze)’의 생성 과정을 체크해 포토 마스크의 적절한 교체 시기를 알려주는 반도체 공정 장비다. 이 장비를 활용할 경우 포토마스크의 품질 향상을 물론 생산 수율을 크게 높일 수 있다는 장점이 있다.
안개처럼 뿌옇다고 해서 이름 붙여진 ‘헤이즈’는 반도체 공정 과정에서 엑시머 레이저와 포토마스크의 잔류 아이언이 반응해 생기는데, 시간이 지날수록 큰 구멍을 내 결국에는 포토마스크를 사용할 수 없도록 한다. 그간 반도체 장비 회사에서는 헤이즈를 줄이는 데 많은 공을 들여왔지만 헤이즈의 성장 속도를 정확하게 체크할 수 없어 애를 먹었다.
이 제품은 헤이즈의 성장을 일부러 가속화함으로써 수 시간내 포토마스크의 교체 시기를 잡아준다. 호환성도 탁월하다. 모든 반도체 장비 업체에 적용이 가능한 것이 특징이다. 제품 가격이 대당 10억원에 달할 정도로 고가이지만, 제품의 성능을 인정해 지난해 국내 내로라 하는 반도체 대기업이 구매한 데 이어 추가 구입 의사를 밝히고 있다.
나노전광은 이에 그치지 않고 올해 헤이즈의 생성 과정을 실시간으로 모니터링할 수 있는 검출 기능을 개발 중에 있다.
평판 디스플레이용 유리절단기 ‘글래스 스크라이빙 머신(Glass Scribing Machine)’도 이 회사의 핵심 제품군 가운데 하나다. LCD, PDP 등 여러 종류의 디스플레이를 직선 뿐만 아니라 곡선 등 다양한 방식으로 절단할 수 있는 제품이다. 연구소 및 대학 등 R&D용으로 개발한 이 제품은 경희대, 코디텍, 안성화인케미컬 등에 공급돼 호평을 얻고 있다.
김종수 사장은 “올해 전 세계 시장 진출을 목표로 헤이즈 엑셀러레이터의 마케팅을 강화해 나가겠다”며 “올 상반기 저가형 포토마스크 및 레이저 다이렉트 라이터 등 신규 제품도 시장에 출시할 예정”이라고 말했다.
대전=신선미기자@전자신문, smshin@
