산업자원부는 반도체 및 평판디스플레이 운송에 사용되는 최첨단 ‘횡자속형 선형전동기 운송장치’와 ‘비접촉 전력공급장치’가 한국전기연구원 임근희 박사팀에 의해 세계 최초로 개발돼 상용화에 성공했다고 25일 밝혔다.
이번 기술이 상용화됨에 따라 기존 케이블 방식의 단점이던 소음과 먼지가 사라지고 반도체와 평판디스플레이 등 클린룸 생산라인 운송 시스템에 적극적인 활용이 가능하게 됐다. 또 기존 방식 대비 30% 이상 전기 절감이 가능해 연간 200억원의 비용절감 효과도 기대됐다.
이번 개발 및 상용화에는 한국전기연구원을 주관기관으로 신성이엔지, 그린파워, 동부정밀화학, SBC리니어 등 4개 기업이 공동 참여했다.
‘횡자속형 선형전동기 운송장치’는 반도체를 비롯 LCD와 PDP 등 클린룸 생산라인에 사용되고 있는 기존 운송장치의 문제점을 확기적으로 개선한 제품으로 평가받고 있다. 또 ‘비접촉 전력공급장치’는 반도체 생산라인 운송장비에 움직이는 전선없이 전력을 공급할 수 있는 장치로로 이번에 용량별 풀 라인업이 개발됐다.
김승규기자@전자신문, seung@
