구상모 광운대 교수, 5㎚ 실리콘나노선 플래시 메모리 개발

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 구상모 광운대 전자재료학과 교수와 미 국립표준연구원(NIST) 연구진이 성능과 집적도를 크게 향상시킨 비휘발성 메모리 소자를 개발해 화제다.

 구 교수가 미국 연구진과 공동 개발한 것은 5㎚ 실리콘 나노선과 기존 메모리 소자 기술을 결합시킨 하이브리드 구조의 비휘발성 메모리 소자로 초고집적화가 가능하고 제조단가도 크게 낮출 수 있다.

 연구결과는 영국 물리학회가 발행하는 ‘나노테크놀러지’ 저널 온라인판에 지난달 발표됐으며 이 달 인쇄판에도 실릴 예정이다.


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