도쿄일렉트론, 커터디벨로퍼 생산능력 50% 늘려

　도쿄일렉트론이 반도체 장비인 코터디벨로퍼(도포·현상장비) 생산능력을 50% 늘린다고 13일 니혼게이자이신문이 보도했다.

　도쿄일렉트론은 약 40억엔을 투자해 규슈공장에 신규 생산라인을 건설하고 납기도 30% 이상 단축시킬 계획이다. 생산라인의 총 면적은 2만4000㎡으로 7월 중 본격 가동된다.

　코터디벨로퍼는 실리콘웨이퍼에 레지스트(광감성 수지)를 도포·노광한 후 현상하는 장치다. 이 회사의 세계 점유율은 300㎜ 웨이퍼 장비 기준 80∼90%에 달한다.

명승욱기자@전자신문, swmay@