도쿄일렉트로, 반도체 장비 신공장 건설

　세계 2위 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론이 200억∼300억엔을 들여 센다이시에 대규모 반도체 장비 공장을 건설한다.

　8일 니혼게이자이신문에 따르면 도쿄일렉트론은 오는 2010년 가동을 목표로 에칭 장치 생산 공장을 건설키로 했다.

　종업원 1000명 규모의 이 공장은 도쿄일렉트론이 지난 1997년 이래 10년 만에 신설하는 것이다. 회사 측은 “소형이면서 소비전력이 적은 차세대 반도체용 제조 장비 생산에 주력할 것”이라고 밝혔다.

　도쿄일렉트론은 이와테·미야기·야마나시·구마모토 등에 생산 공장을 가동 중인데 미야기에서는 자회사인 도쿄일렉트론AT에서 에칭 장치를 생산하고 있다. 신공장 가동에 따라 에칭 장치 생산능력이 현재의 1.5배인 연 3000억엔 규모로 늘어난다.

　이 회사의 2006 회계연도 영업이익은 전 회계연도 대비 약 70% 증가한 820억엔으로 사상 최고치를 경신할 전망이다.

명승욱기자@전자신문, swmay@