에피밸리, 세계 최대 유기금속화학기상증착기 도입

　발광다이오드(LED) 웨이퍼 및 칩 업체인 에피밸리(대표 박두진 http://www.epivalley.com)는 세계 최대 생산효율을 갖춘 유기금속화학기상증착기(MOCVD)를 도입, 내년 초부터 가동에 들어간다고 13일 밝혔다.

이 회사는 영국의 토마스스완사로부터 한번에 30장의 사파이어기판을 성장시킬 수 있는 새로운 MOCVD장비를 구매, 구축중이다. 기존 MOCVD 장비는 한번에 18∼24장의 사파이어기판을 성장시키는 데 그쳤다.

박중서 에피밸리 연구소장은 “이번 장비를 가동하게 되면 생산량이 20% 가까이 늘게 될 것”이라며 “생산성이 높아짐으로써 가격 경쟁력도 함께 개선될 것으로 기대한다”고 밝혔다.

에피밸리는 현재 9대의 MOCVD 장비를 보유하고 있으며 이번에 구축이 완료되면 총 10대로 늘어나게 된다. MOCVD장비는 LED의 기초소재인 사파이어기판에 여러가지 화학 물질을 증착시키는 장비로 LED 제조의 핵심장비다.

유형준기자@전자신문, hjyoo@