시높시스, 삼성전자 S램서 DFM 채택

　시높시스코리아(대표 신용석)는 디자인포매뉴팩처링(DFM) 솔루션인 PSM(phase-shift mask)이 삼성전자의 S램 생산 라인에 적용됐다고 27일 밝혔다.

이 제품은 미세 공정을 도입할 대 새로운 장비를 도입하지 않고 기존 장비를 활용할 수 있도록 장비를 보완해 주는 소프트웨어로, 고성능 제품의 리소그래피 해상도와 수율을 향상시키는 데 사용된다. 삼성은 이 기술을 사용해 리소그래피 공정에서 최소 배선폭(CD)을 정밀하게 제어해 수율을 늘리고 칩 성능을 최대로 높일 수 있다. 　

문보경기자@전자신문, okmun@