페어차일드코리아반도체(대표 K.T.탄 http://www.fairchildsemi.com/kr)가 연간 50만 매 이상의 생산능력을 갖춘 에피(EPI:Epitaxial) 웨이퍼 전용 생산라인을 페어차일드코리아 부천 사업장 내에 설립하고, 20일 준공식을 가졌다.
이번에 설립된 에피라인은 총 면적 1000평 규모로, 국내 최고 수준의 전용 라인이다. 청정도가 클라스 10(1평방피트 안에 있는 0.5미크론 크기의 먼지가 10개 이하) 수준이며 멀티레이어 EPI, SEG(Selective EPI Growing), 딥 트렌치 필링 등 첨단 기술을 갖췄다. 에피 웨이퍼는 기존 웨이퍼 표면 위에 단결정 실리콘을 증착시키는 공정을 거친 것으로, 디바이스 종류에 따라 다양한 구조로 제작 가능하다는 게 장점이다. 페어차일드코리아반도체는 기존 D라인에서 에피웨이퍼를 일부 생산해 왔으나, 이번 준공으로 국내 최대 규모의 에피 웨이퍼 전용 라인을 갖추게 됐다.
송창섭 수석부사장은 “에피라인의 준공은 페어차일드코리아반도체의 신제품 개발에 큰 힘이 될 것이며, 또한 생산 능력을 높여 고객들에게 보다 향상된 서비스를 제공 할 수 있게 됐다”며 “신규 팹(Fab) 라인 및 자동화 물류 센터 건설에 이은 에피 웨이퍼 생산라인의 준공 등 지속적인 설비투자로 페어차일드코리아반도체가 한국 반도체 산업의 발전에 기여하게 된 점을 기쁘게 생각한다”고 말했다.
문보경기자@전자신문, okmun@
