[IMID/IDMC 2006]소재·장비-에이디피엔지니어링

　에이디피엔지니어링(대표 허광호 http://www.adpeng.com)은 드라이에처 등 TFT LCD 핵심 공정장비를 공급하는 공정 기술 업체다.

이 회사는 LCD 핵심 공정장비인 드라이에처를 국내 최초로 개발, 국산화해 5세대와 6세대 양산 라인에서 그 성능을 인정 받고 있다. 플라즈마 애셔와 액정 적하장치, 패턴 검사기, 매크로 검사기 등 7세대 제품 장비 개발에도 성공해 국내 주요 고객사 라인에 납품, 양산 적용하고 있다.

이번에 출품하는 드라이에처는 LCD 유리 기판 위에 형성된 패턴에 따라 하부막을 제거하는 공정 장비로 타깃 막질에 따라 플라즈마 소스의 선택의 폭이 넓고 대면적 기판도 전면 온도 분포를 균일하게 유지하는 쿨링시스템을 갖추고 있다. 정비가 간편하고 시스템 레이아웃을 최소화해 공간을 절약할 수 있다.

플라즈마 애셔는 LCD 기판 위에 형성된 불필요한 포토레지시트 잔막을 제거하는 공정 장비로 챔버 크기를 최소화해 패널 스루풋을 증대시키고 상부 개방형 리드 체임버를 채택, 정비성을 향상시킨 것이 특징이다.

에이디피엔지니어링은 또 백라이트유닛의 핵심 부품인 냉음극형광램프(CCFL)·외부전극형광램프(EEFL) 등과 관련된 장비를 선보인다. 이 장비는 도포 및 소성, 실링, 배기 공정, 고주파 처리 공정 및 실 컷, 수은 확산 공정으로 구성됐다. 장램프의 진동과 휨을 방지하기 위해 소성 및 실 커팅 시 수평 방식을 채택했고 램프 모델 변경이 쉬워 다품종 생산에 적합하다.

아울러 에이디피엔지니어링은 지속적인 연구개발과 투자로 OLED 및 LTPS 분야 등 LCD 외의 평판디스플레이 분야까지 사업 영역을 확대하여 고객에게 최적의 기술을 제공하고 있다. 2004년을 기점으로 해외시장 진출이 점진적으로 성과를 보이고 있으며 향후 국내외 시장에서 공히 인정받는 글로벌 기업으로 성장한다는 목표다. 에이이디피엔지니어링은 지금까지 축적된 기술을 바탕으로 LCD 장비시장은 물론이고, OLED와 플렉서블 디스플레이 장비로 개발 범위를 확장하고 있으며 나노 기술을 응용한 신규 사업에도 박차를 가하고 있다.