[IMID/IDMC 2006]소재·장비-뉴파워프라즈마

　뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)는 탄탄한 플라즈마 기술을 바탕으로 디스플레이 시장에서 세계적 플라즈마 부품 업체들과 당당히 겨루고 있다.

　플라즈마 기술은 기체보다 입자가 안정된 상태에서 정밀 가공과 표면 처리가 가능하고 환경오염이 거의 없는 친환경 기술로 디스플레이 및 반도체 등 첨단 산업 분야에서 무한한 적용 범위를 갖고 있다.

　올해 IMID 행사에 뉴파워프라즈마는 LCD 공정장비의 핵심부품인 대용량 고주파 전원 장치와 임피던스 정합장치등의 고주파(RF) 장비부품, 공정장비 체임버 내 유해 가스를 세정하는 원격 플라즈마 발생기(RPG), 애셔 등을 선보인다.

　특히 뉴파워프라즈마가 보유하고 있는 ‘페라이트 코어 유도결합 플라즈마 발생기술’은 플라즈마 발생 효율을 높이고 균일도와 확장성을 가능하게 함으로써 플라즈마 기술의 세대변화를 주도하고 있다. 이 기술은 LCD 화학기상증착(PE CVD) 공정에서 RPG에 적용되어 과불화탄소(PFC) 계열 유해 잔류가스의 완벽 세정 및 생산성 향상에 크게 기여하고 있다.

　또 2000㎜ 폭의 대면적에서도 플라즈마의 밀도와 균일도를 확보할 수 있는 플라즈마 소스를 개발, 7세대 이상 대형 LCD 공정용 세정 장비 등에 ICP 플라즈마 소스를 적용할 수 있게 될 전망이다.

　뉴파워프라즈마는 플라즈마 발생 기술 관련 원천기술을 기반으로 프로세스 모듈에서 장비에 이르는 종합 솔루션을 구축했으며, 지난 7월 수원 제2사업장 가동을 통해 애셔 등 반도체·디스플레이 전공정 장비의 본격적인 생산을 시작했다.

　국내 소자업체 납품을 앞두고 있는 300㎜ 애셔 장비(모델명 GEN-CORETH A-3010)는 1개의 챔버와 2개의 스테이지로 구성돼 시간당 180장 이상의 높은 생산성 확보가 가능하다. 뉴파워프라즈마는 세계 수준의 플라즈마 소스 기술을 향한 지속적인 연구를 통해 작지만 강한 기업, 세계 일류기업으로 성장한다는 목표다.