반도체용 노광장치 국내 특허 출원 활발

　반도체 및 디스플레이용 노광 장치 기술과 관련해 국내 특허 출원이 활발한 것으로 나타났다.

특허청이 지난 1985년부터 2005년까지 최근 21년간 노광 장치의 핵심 요소기술 분야에 대해 한국·미국·일본 3국의 특허출원(단, 미국은 등록특허)을 분석한 결과 총 4804건이 출원된 가운데 우리나라의 특허출원 점유율은 1985∼2000년 16.2%(537건)에서 2001∼2005년 31.8%(475건)로 크게 늘었다.

기술별로는 조명 48%(2342건), 레티클 시스템 30%(1438건), 플레이트 핸들러 17%(803건), 엣지 익스포저 5%(223건)순으로 많았다. 나라별 점유율은 일본이 43%(2077건)로 가장 높았고, 미국 36%(1717건), 한국 21%(1012건)순이었다. 하지만, 최근 5년간 출원 점유율만 보면 한국(31.8%)이 일본(31.4%)을 제치고 미국(36.8%)의 뒤를 이었다.

이처럼 우리나라의 특허 출원이 높아지고 있는 이유는 삼성전자와 하이닉스 반도체 등 국내 기업들이 관심을 갖고 투자를 늘린데 따른 것으로 풀이된다.

하지만, 우리 기업들은 주로 국내에서의 특허 활동에 치우쳐 해외 출원 비율은 8.4%에 머물렀다.

특허청 관계자는 “외국 업체들의 높은 기술 장벽을 뛰어넘기 위해서는 좀 더 적극적인 투자 및 연구 개발로 기술력을 확보하는 것이 시급하다”고 말했다.

대전=신선미기자@전자신문, smshin@