관련 통계자료 다운로드 국내 나노인프라 현황(종합시설 국내 나노관련 인프라는 KAIST의 나노종합팹센터를 비롯 수원 나노특화팹센터 등 종합시설 6개, 지원시설 5개, 연계시설 8개 등 모두 19개다.
14일 나노종합팹 등에 따르면 과학기술부와 산업자원부 등이 자체적으로 추진해오던 나노종합팹과 나노특화팹, 나노기술 클러스터 조성사업이 앞으로 과학기술혁신본부를 중심으로 분야별로 특화돼 추진된다. 장비 중복투자 등을 막기 위해서다.
과기혁신본부가 나눈 기능별 특화 방안에 따른 종합시설은 △실리콘계 나노소자 공정을 지원할 나노종합팹 △화합물계 나노소자 공정의 나노특화팹 △가속기 활용 나노소재 개발을 지원할 포항 나노집적센터 △나노 패터닝·에칭 장비개발을 지원할 전북 나노집적센터 △나노증착·확산 장비를 개발할 광주 나노집적센터 등이다.
지원시설로는 한국기초과학지원연구원이 보유하고 있는 나노측정분석 장비를 비롯, 산자부 주관으로 현재 대구 테크노파크에 건설중인 나노부품실용화센터, 지난해부터 서비스에 들어간 포항공대 나노평가기술산업화 지원센터 및 전자부품연구원의 나노IT부품기술산업화지원센터, KIST의 나노복합소재기술 산업화 지원센터 등이 있다.
이외에도 연계시설로 한국광기술원(화합물반도체 및 LED), 고등광기술연구소의 극초단광양자빔 연구시설, 포항공대의 포항방사광 가속기, KIST의 마이크로 나노공정센터, ETRI의 반도체기반 실험실, 표준과학연구원의 진공센터 등도 서비스를 하고 있다.
한편 과기혁신본부는 이달 내로 범부처 나노관련 인프라의 효율적인 종합관리체계를 구축하기 위해 연도별 장비도입 계획 등을 심의할 ‘나노기술 조정위원회’ 및 운영 관리팀을 설치한다. 또 오는 5월까지 국내 나노팹 관계자들이 참여하는 실무 협의체를 구성, 인프라 간 네트워킹을 활성화할 방침이다.
나노팹 관계자는 “정부가 상반기 내에 국가연구시설 활용도 감지 시스템을 구축, 국가과학기술종합정보시스템과 연계하는 관련 기반 및 제도를 대폭 정비할 것으로 안다”고 말했다.
대전=박희범기자@전자신문, hbpark@
