국제공인 측정기 교정 전문업체인 HCT(현대교정인증기술원, 대표 이현희, http://www.hct.co.kr)는 클린룸 내 미세먼지입자 샘플링장치인 ‘버추얼 임팩터(Virtual Impactor)’를 국내 최초로 개발했다고 14일 밝혔다. 이 장치는 이미 국내 대기업 클린룸에서 평가가 마무리된 상태로, 내년 1월부터 본격적인 납품 계약에 들어간다.
버추얼 임팩터는 클린룸에서 1㎛(마이크로 미터) 이상 미세먼지입자 개수와 크기를 측정하고 입자 성분을 분석하는 기능을 하며, 공기 중 미세먼지입자들을 내부 충돌판에 포집해 샘플링한다. 이 장비는 광학현미경 분석 및 사진 이미지 프로세싱을 통해 크기와 개수를 측정할 수 있으며, EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer: 원소분석장비)를 통한 성분을 분석 샘플링이 가능해, 공정 중 어느 과정에서 오염이 비롯되었는지 알아낼 수 있는 장점이 있다.
HCT는 이번 개발한 버추얼 임팩터를 이용해 클린룸 관리 평가 시스템을 확립하고, 반도체 및 LCD·제약·식품 제조 공정 등 다양한 클린룸 환경에서 미세먼지입자를 관리하는 서비스를 제공할 계획이다.
HCT연구소 권용택 소장은 “그동안 국내에서는 대기중 먼지입자를 측정하는 대기 환경용 임팩터를 주로 사용했고, 클린룸 전용제품은 전무했다”며 “특히 내년 시행이 검토되고 있는 ‘클린룸 성능평가 인증제도’가 도입되면 효과적인 클린룸 유지·관리 시스템에 대한 필요성이 높아져 HCT의 버추얼 임팩터 시스템에 대한 수요도 높아질 것으로 기대된다”고 강조했다.
한편 HCT는 반도체 클린룸 환경에서 5나노미터 입자까지 측정이 가능한 나노입자 측정장비인 ‘초미세먼지 입자계수기(나노파티클카운더)’도 국내 최초로 개발하는 등, 클린룸 관련 측정장비분야 기술을 주도하고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@
