[IT키워드]AFM

　원자 힘 현미경(AFM:Atomic Force Microscope)은 서로 떨어진 원자들 사이에 형성되는 힘이 제각기 다른 점을 이용해 거리를 측정하는 현미경이다. 나노(10억분의 1)미터 수준에서 물질 표면을 관찰할 수 있다.

　원자 몇 개 정도에 불과한 크기의 얇은 바늘(탐침)을 통해 물질(시료) 표면 굴곡을 훑는다. 바늘이 시료에 가까이 접근하면 서로 밀어내는 힘(척력)과 끌어당기는 힘(인력)이 발생한다. 그 힘으로 인해 바늘이 휘어지는데, 이 바늘에 레이저 광선을 비춰 반사되는 각도를 계산해 시료 표면 굴곡을 알아낸다.

　이는 나노기술 연구에 필수적으로 쓰인다. 또 반도체 미세회로 패턴을 측정하는 데 사용되며, 탐침을 이용해 나노구조를 만들기도 한다. 기본적으로 원자 간 척력을 이용하며 인력·마찰력·정전기력·자기력 등을 활용하는 측정방법도 사용된다. 측정하는 대상(시료)에 따라 탐침 특성이 맞아야 한다. 주로 실리콘·실리콘질화물로 만든 탐침을 쓴다. 최근에는 탄소나노튜브를 탐침으로 만드는 연구가 활발히 진행중이다.