다이요닛산, 아산에 반도체 제조용 가스공장 설립

　세계 최대 반도체용 가스업체인 다이요닛산이 내년 8월께 충남 아산에 질소가스 생산공장을 설립한다.

　7일 니혼게이자이신문 보도에 따르면 다이요닛산은 총 200억원을 들여 약 1만5000㎡ 부지에 가스 정제설비, 충전 등을 담당하는 공장을 세워 내년 양산에 들어간다. 다이요닛산의 미국 자회사인 공업용 가스업체 머치슨트라이가스 자회사 공장으로 발족되는 것이다.

　아산공장 신설은 고객인 삼성전자 등 한국 반도체 업체들의 증산을 고려한 결정인 것으로 분석된다. 이 회사의 해외 대형 공장은 미국에 이어 이번이 두 번째다.

　생산품목은 실리콘 웨이퍼상의 절연막 및 보호막을 형성하는 데 사용되는 고도의 질소가스다. 지금까지 다이요닛산은 반도체 제조용 가스를 미국 공장 등에서 한국으로 수출해 왔다.

　다이요닛산은 아산공장 설립을 계기로 삼성전자·하이닉스 등과 제품 개발 단계부터 밀접한 관계를 맺고 수주를 확대할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

　명승욱기자@전자신문, swmay@