SNU프리시젼(대표 박희재 http://www.snuprecision.com)은 전시회를 통해 3차원 표면 형상 측정장비 ‘SIS-2000’을 선보인다.
백색광 간섭계를 이용한 3차원 표면 형상 측정장비로 백색광 간섭계는 위상천이 간섭계의 높이 측정 한계를 극복해 수 마이크로 미터 이상의 큰 단차를 가지는 형상도 수 nm의 분해능으로 측정할 수 있다. 이 방법은 백색광의 짧은 가간섭성(coherence length)을 이용하는 것이다. 텅스텐 할로겐 램프와 같은 백색광원은 수 마이크로 미터 이내에서만 간섭 신호를 발생시키는 특성을 가지고 있어 FPD의 3차원 표면 형상 측정, 반도체, MEMS 부품 형상 및 조도 측정, 광부품 등의 측정에 사용되고 있다.
간섭계 원리를 이용한 삼차원 표면 형상측정장비는 다른 업체에서도 유사한 제품을 내놓고 있다. 하지만 대부분 제품은 박막 샘플에 대해서는 이중간섭상이 나타난다. SNU프리시젼은 이중간섭상을 제거할 수 있는 자체 알고리듬을 확보하고 다양한 신기술을 적용하면서 FPD 측정분야에서 강자가 됐다.
지난 1998년 서울대학교 기계공학과 정밀공학연구실에서 출범한 회사는 우리나라 실험실 벤처 1호다. △세계 최고 수준의 기술 보유 기업 △창의적 도전 정신으로 새로운 것을 이루는 기업 △가치 중심적 경영을 통해 인류에 공헌하는 기업을 모토로 삼고 있다. 국내 대기업은 물론이고 일본, 중국, 대만 등 세계 여러 나라에 수출하고 있다. LCD용 정밀 3차원 측정기 분야에서 한국, 대만, 일본, 중국 시장의 약 80%를 점유하고 있다.
김승규기자@전자신문, seung@
