리트젠, 노광장비용 광원 개발

　리트젠(대표 김용선 http://www.lichtzen.com 구 제일UV)은 반도체 웨이퍼 노광장비의 핵심 부품인 자외선 광원 장치를 개발, 일본에 수출한다고 4일 밝혔다.

　이 제품은 포토마스크에 새겨진 회로 패턴을 반도체 웨이퍼 위에 형성하는 노광장비(stepper)의 광원으로 쓰이며 정밀 광학 설계 기술, 소프트웨어, 기구 메카니즘 설계 기술 등을 필요로 한다고 회사측은 설명했다.

　리트젠은 일본의 반도체 제조 업체 A사와 500세트 규모의 연간 공급계약을 체결했으며 올 하반기 생산 시설을 추가 확충해 국내 및 중국·동남아·유럽·미주 지역에도 공급할 계획이다.

　이 회사는 기존 주력 제품인 자외선 경화 장비에서 노광장비용 광원과 광분석기기 등 고부가 제품으로 사업을 다각화한다는 방침이다. 이를 위해 경기도 안산에 건평 1500평 규모의 신사옥 및 공장을 마련하고 4일 이전을 완료하는 한편 사명도 제일UV에서 리트젠으로 변경했다.

　이 회사 김용선 사장은 “국부 자외선 경화 및 접착용으로 쓰이는 자외선 조사 장치를 개발한 기술력을 바탕으로 외산 일색인 노광기용 광원을 개발했다”며 “PDP 및 반도체 노광 장비, 엑시머 세정장비 등의 개발도 추진중에 있으며 광응용 장치 분야 해외 시장을 적극 공략할 것”이라고 말했다.

　한세희기자@전자신문, hahn@