[비상하는 부품·소재·장비]장비-세메스

반도체 및 FPD 제조 전공정 장비업체인 세메스(대표 이승환 http://www.kdns.co.kr)는 반도체·디스플레이 장비 국산화를 선도하고 있다.

이 회사가 지난 98년 국내 최초로 국산화에 성공한 종합 도포현상장비 ‘스피너(모델명 K-SPIN 12)’는 반도체 제조의 꽃이라 불리는 포토공정에 사용되는 핵심 장비다. 이 장비로만 세메스는 지난해까지 약 2000억 원의 국내 매출과 100억원의 수출실적을 거뒀다. 스피너는 웨이퍼 표면에 고집적 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 도포하고 노광 후 형성된 패턴을 현상하는 포토공정 설비다. 4C4D(4개의 감광액 도포 및 현상) 방식인 K-SPIN12는 코터와 디벨로퍼 영역을 차단하는 상하 적층구조로 각각의 영역에 별도의 베이크 유니트(가열장치)와 반송로봇을 배치하는 새로운 개념을 도입, 상호간 환경영향을 최소화하고 생산성을 크게 향상시켰다. 세메스는 포토공정용 트랙장비에서만 국내특허 54건, 해외특허 11건의 선행기술을 확보하고 있다.

이 회사의 세정장비인 K-WET 300은 원배쓰(One Bath)방식을 채택해 생산성이 뛰어나고 단위 면적당 웨이퍼 처리속도가 월등히 빠르다. 또 컬러 STN LCD 풀라인 제조설비는 LCD 제조의 핵심인 이미지·얼라인먼트·어셈블리 공정으로 구성된 인라인장비로, 휴대폰·PDA 등에 사용되는 6만5000컬러의 패널(기판사이즈 370×470㎜)을 월 10만장 이상 생산할 수 있다.

세메스는 이 밖에도 기존 반도체 습식 세정장비의 크기를 반으로 줄이고 기능은 두배로 향상시킨 신개념 뉴 웨트스테이션 ‘오션’을 개발해 놓은 상태로 조만간 △90나노 이하 초미세회로 제조공정용인 불화아르곤(ArF) 나노스핀 △SWP 3012 등과 함께 양산을 시작할 계획이다.

지난해 매출액 2048억원을 기록한 이 회사는 올해 신개념의 차세대 반도체 트랙, 세정장비 양산 및 LCD 물류·모듈사업 진출을 통해 업계 최초로 매출 3000억원을 달성한다는 목표다.