반도체 세정장비전문업체인 아티스(대표 이재화 http://www.atiskorea.co.kr)는 세정장비분야 일본 3위업체인 에스이에스(SES)와 17일 중국 상하이 리츠칼튼호텔에서 포괄적 업무 제휴를 위한 양해각서(MOU)를 교환했다고 18일 밝혔다.
SES는 세정장비분야에서는 TEL·DNS와 함께 일본 3대 회사로 꼽히는 업체로 일본 내에 7개 연구소와 공장을 통해 세정장비 만을 전문적으로 생산, 전세계에 연간 2500억∼3000억원 규모를 납품하고 있다. 91년 JASDAQ에 등록된 이 회사의 자본금 규모는 60억엔(약 600억원)이다.
양사의 이번 MOU는 △SES의 아티스에 대한 투자 △카세트분리방식(카세트리스) 반도체 세정장비 개발을 위한 기술 제휴 △장비의 OEM 생산 및 영업의 상호지원 △장비 공동 개발시 품질이 우수한 국산부품 채택 등이 주요 내용이다.
특히 양사는 좀더 긴밀한 협력관계를 유지하기 위해 아티스가 발행하는 신규 주식 중 총 10% 범위내에서 SES가 1차로 자본참여 하는 것에 합의했으며, 지분참여 규모는 점차 확대 조정해 나갈 계획이다.
이번 MOU로 아티스는 0.13∼0.5㎛대응의 세정장비 제조기술 습득과 해외 OEM 수출 확대 등을 기대하고 있으며, SES는 한국 세정장비시장 진출의 교두보를 확보하게 됐다.
아티스 이재화 사장은 “SES와의 협력으로 아직 국산화되지 않은 카세트리스 세정장비 등의 개발이 가속화될 수 있을 것”이라며 “첨단 세정장비 개발을 통해 국내는 물론 해외시장(OEM) 공략에도 박차를 가할 것”이라고 말했다.
아티스는 장비업체인 한양기공에서 분리돼 2003년 세정장비 전문업체(자본금 2억원)로 출발했으며 지난해 매출은 90억원, 올해는 150억원 매출을 목표로 하고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@
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