비아트론, 4세대 결정화 장비 세계 최초 개발

저온폴리(LTPS)나 능동형(AM) OLED를 값싸게 양산하기 위한 새로운 개념의 핵심 장비가 국내 기술진에 의해 개발됐다.

　국내 디스플레이 장비업체인 비아트론(대표 김형준 http://www.viatrontech.com)은 능동형 OLED와 저온폴리 제조를 위한 4세대(730×920㎜) 급속 열처리 장비의 개발을 완료하고 이달 출시할 예정이라고 2일 밝혔다.

　비아트론이 개발한 급속 열처리 장비는 기존에 비정질 실리콘을 다결정 실리콘으로 바꿔주기 위해 사용돼왔던 레이저를 이용하지 않고 열처리로만 다결정 실리콘 막을 제조할 수 있는 세계 최초의 생산 장비다. 기존 레이저 기술은 높은 생산 단가와 결정화가 이루어진 다결정 기판의 불균일성으로 저온폴리 제품의 가격 상승은 물론, 능동형 OLED의 수율 개선에 큰 문제점으로 지적돼 왔다.

　비아트론이 이번에 개발한 제품은 급속 열처리와 교번 자속 인가 등 독자적인 기술로 고열로 인한 유리기판 변형 없이 결정화 작업을 진행할 수 있도록 했으며, 금속 촉매를 사용하지 않는 것이 특징이다. 기존 레이저 결정화 장비와 비교할 경우 장비 구입 및 유지 보수에 들어가는 비용을 최대 8분의 1 수준으로 줄일 수 있다.

　비아트론은 작년 초 2세대 상용화 장비를 개발해 국내외 OLED 및 LCD 업체와 이 기술을 활용한 디스플레이 제품 개발을 진행해 왔으며, 최근 한 능동형 OLED업체에 파일럿 장비를 공급한 바 있다.

　이 회사의 김형준 사장은 “장비의 성공적 개발로 인해 다결정 실리콘을 사용하는 능동형 OLED와 저온폴리 제품 가격 경쟁력과 대형화의 전기를 마련하게 됐다”며 “특히 이번 장비는 다결정 실리콘 박막의 제조 공정뿐 아니라 도펀트 활성화, 유리 선수축 등의 열처리 공정에서도 그 생산성이 기존의 일본 장비에 비해 월등한 것으로 입증돼 이 분야의 수입 대체 효과 및 수출이 기대된다”고 밝혔다.

　이 회사는 4세대 장비 공급에 대해 대만, 일본 업체들과 협상을 진행중이며 상반기 내로 공급 제품 계약이 성사될 것으로 기대하고 있다.

　 유형준기자@전자신문, hjyoo@