삼성SDI, OLED 대형화 SGS기술 첫 개발

삼성SDI(대표 김순택)는 경희대와 공동으로 금속 촉매를 이용, 대면적 저온폴리 실리콘(LTPS) 막을 형성함으로써 유기발광다이오드(OLED)를 초대형화할 수 있는 SGS(Super Grain Silicon) 기술을 세계 최초로 개발했다고 16일 밝혔다.

이 회사는 SGS기술을 적용한 17인치 UXGA(1600x1200) 능동형 OLED 개발에 성공했으며 공정 최적화와 독자적인 설비 국산화를 추진해 향후 시장상황 추이에 따라 30∼40인치대 초대형 OLED 개발을 대폭 앞당긴다는 계획이다.

이번에 성공한 SGS 기술은 일반 아몰퍼스(Amorphous) 실리콘 TFT 기판에 극소량의 금속 촉매를 중간막 위에 도포한 후, 고속으로 열처리함으로써 저온폴리 실리콘(LTPS) 막을 형성하는 기술이다. 이전에는 레이저로 기판을 스캔하는 ELA(Excimer Laser Annealing) 기술을 적용해 결정화 공정을 처리해왔으나 입자의 크기를 조절하기 어렵고 레이저 빔의 크기를 확대하는 데 한계를 드러냈다.

이 기술은 고가의 레이저 장비를 사용하지 않기 때문에 저렴하게 OLED 패널을 제조할 수 있어 원가경쟁력도 높일 수 있게 됐다. 또 기존 레이저를 사용하는 기술보다 설비 투자비는 약 1/4, 유지비는 약 1/10로 대폭 줄어들 것으로 예상된다.

이 회사의 OLED 개발 담당 정호균 전무는 “이번 SGS 기술개발로 초대형 OLED를 개발 시기를 앞당길 수 있는 기반

을 마련했다”며 “지속적인 화질향상과 대형 제품, 원가 절감형 제품 개발로 치열해지는 OLED 시장에서 최고의 지위를 확고히 할 것”이라고 밝혔다.

능동형 OLED는 아모포스 기판을 이용하는 방식과 저온폴리(LTPS)를 이용하는 방식으로 기술 개발이 진행돼 왔으며 현재까지 출시된 제품은 모두 저온폴리 기판을 이용하고 있다.

한편 삼성SDI와 경희대 차세대디스플레이 연구센터 장진(張震) 교수 연구진은 지난 2002년부터 21세기 프론티어 연구개발 사업관련 국책과제로 이 기술을 개발해왔다.

유형준기자@전자신문, hjyoo@

사진: 삼성SDI가 초대형 OLED 제작이 가능한 SGS 신 기술을 적용해 개발한 17인치 초고해상도 능동형 유기발광다이오드(OLED).