APTC, 하이닉스에 에칭장비 추가 납품

　어댑티브프라즈마테크놀로지(대표 김남헌, APTC, http://www.iAPTC.com)는 하이닉스반도체에 200㎜ 메탈 식각(에칭) 장비를 추가로 납품했다고 14일 밝혔다.

이 회사는 에칭장비 국산화에 성공해 지난해 2차례에 걸쳐 하이닉스 이천공장에 납품한 바 있다.

　에칭장비는 반도체 웨이퍼 위에 포토 레지스트리나 하드 마스크로 형성된 패턴에 따라 플라즈마를 이용해 하부막을 제거하는 공정에 사용되는 전공정 장비로, 어플라이드 머티어리얼스·램리서치·TEL 등 미국과 일본업체가 시장을 주도하고 있다.

김남헌사장은 “추가 판매는 반도체생산업체가 장비의 우수성을 공식 인정한 것을 의미한다”며 “200㎜ 장비에 이어 300㎜ 장비 납품도 추진하고 있다”고 밝혔다.

어앱티브프라즈마테크놀로지는 지난 2002년 설립된 반도체 전공정장비 전문 벤처로 현재 33명의 기술자가 근무하고 있으며, 지난해에는 정부로부터 ‘300㎜ 웨이퍼 나노급 산화물 에칭용 플라즈마 소스 개발’에 관한 부품소재기술개발 사업자로 선정된 바 있다.

심규호기자@전자신문, khsim@