주성, 필립스와 300만 달러 상당 메탈 CVD 공급계약 체결

　주성엔지니어링(대표 황철주)은 필립스 미국법인과 300만달러 상당의 200㎜ 반도체용 금속유기화학증착장치(메탈 CVD) 공급계약을 했다고 13일 밝혔다.

　이번 공급계약이 성사된 장비는 공정 체임버 2개로 이뤄진 것으로, 오는 4월 필립스 미국 양산라인에 설치될 예정이다.

　주성은 지난 2001년 처음으로 필립스 미국법인에 4개의 공정 체임버로 이루어진 450만달러 상당의 반도체 장치를 공급한 바가 있으며, 이번 필립스의 설비투자 재개로 반복 추가 계약을 하게 됐다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@