코미코, 플라즈마 코팅 기술 특허

　반도체·LCD 부품 정밀세정업체 코미코(대표 전선규)가 알루미늄 부품 표면에 세라믹 소재를 플라즈마 방식으로 스프레이해 내구성을 높이고 재사용을 가능케 하는 기술을 개발, 특허를 취득했다고 지난 5일 밝혔다.

　이 기술은 반도체 제조용 공정 부품의 표면에 알루미나·지르코니아 등 내플라즈마 특성 및 내화학성이 우수한 세라믹 소재 파우더를 플라즈마 스프레이 방식으로 코팅하는 것이다. 이 방식은 부품 코팅의 내구성이 강하고 표면이 손상될 경우 쉽게 재처리할 수 있어 부품 재활용이 가능하다고 회사측은 설명했다.

　또 각각의 반도체 제조 공정에 적합하도록 두께와 표면 거칠기 정도, 피막내 기공의 정도를 조절할 수 있어 공정 특성에 맞는 표면 상태를 설정할 수 있으며 이를 통해 반도체 공정에 문제를 일으키는 파티클을 잡을 수 있다.

　이 회사의 한 관계자는 “이 기술로 기존의 알루미늄 부품 코팅 기술의 문제점을 개선할 수 있다”며 “반도체 에칭 및 스퍼터링 공정에 유용하게 쓰일 것”이라고 말했다.

　한세희기자@전자신문, hahn@