두산디앤디, 유리기판 `척` 개발

　두산디앤디(대표 명준식)는 차세대 유망 평판디스플레이로 각광받고 있는 유기EL의 대면적화를 앞당길 수 있는 신개념의 대형 유리 기판 척(Stretching Glass Chuck)을 세계최초로 개발했다고 22일 발표했다.

현재 국내외 유기 EL 업체들이 양산라인의 기판으로 사용하는 370x400mm 유기 기판의 경우 크기가 작아 기판 처짐이 문제가 되지 않으나 유리 기판이 대형화될 수록 처짐 현상이 발생, 유기 EL 대형화의 걸림돌로 작용하고 있다.

두산디앤디는 기구적으로 유리를 양쪽에서 잡아당겨 평판도를 유지하는 한편 처짐을 방지했다.

두산디앤디 연구소의 황창훈 소장은 “이번 개발성과로 인해 초대면적(730mmX920mm) 유기EL 기판의 처짐 문제를

완벽히 해결해 대면적 유기박막의 증착이 용이하도록 했으며 진공챔버들 사이에 대면적 유리기판의 이송도 가능하다”며 “유기 디스플레이 기기의 양산성을 획기적으로 높이는 한편 대면적 유기EL TV 제작도 가능해졌다”고 설명했다.

두산디앤디는 이번 결과물을 국내 특허는 물론, 미국, 일본, 대만, 중국 등 PCT에 가입된 100여 개 국에 원천기술 특허를 출원했으며 양산 장비 개발을 위해 대단위 투자를 진행중이다. 또 세계 유수 메이저 디스플레이 기업과 대면적 양산장비의 공동개발 협약을 추진하고 있다.

황 소장은 “현재 개발완성단계에 있는 42인치 급 유기EL 생산의 핵심 기술인 유기물 증발원 기술과 함께 이번에 개발한 대형 유리기판 척을 대면적 유기EL 양산에 활용할 경우 양산 수율을 획기적인 수준으로 끌어올릴 수 있다”며 “국내 유기EL 생산업체들이 대면적 유기 EL TV 시장을 선점할 수 있는 계기가 될 것”이라고 기대했다.

두산디앤디는 두산메카텍의 자회사로 평판디스플레이 장비를 전문적으로 개발하는 장비업체다.

<유형준 기자 hjyoo@etnews.co.kr>