KAIST, 나노장비 첫 도입

　한국과학기술원(KAIST) 나노종합팹센터(사업단장 오계환 KAIST 교수)는 17일 40억 상당의 나노장비 반입식을 시작으로 오는 2008년까지 모두 1180억원 상당의 나노장비 206종을 도입할 예정이라고 16일 밝혔다.

　이번 나노장비 도입은 지난 2002년 KAIST가 나노종합팹센터 조성 주관으로 선정된 지 만 2년 만이다.

　KAIST는 이번 나노장비 1호 도입을 계기로 올해 안에 140여종 650억원 상당의 장비를 도입하고 오는 2008년께까지 총 1180억원 상당의 장비 206종의 도입을 모두 완료할 계획이다.

　이번에 들어올 장비는 나노패터닝을 수행하는 나노임프린터로 KAIST의 위성 랩인 한국기계연구원에 우선 설치해 ETRI, 삼성종합기술원, LG기술원 등 49개 나노기술개발 기관이 이용하도록 한 뒤 나노팹센터가 완공되는 2005년 1월께 본 센터로 이전할 방침이다.

　이번에 들어오는 나노임프린터는 미국 엠아이아이(MII)가 제작한 것으로 반도체 공정에서 사용하는 사진현상 방식의 나노구조물 미세화 형성 작업을 도장 찍듯 간단하게 만들어 대량, 연속적으로 제작할 수 있는 나노패터닝 장비이다.

　나노팹센터측은 이번 장비도입으로 기존의 나노리소그라피 기술을 구현하는데 필요한 에이알에프(ArF)스캐너 장비의 구축비용을 기존 제품의 10분의 1 가격인 250만∼300만달러 대로 대폭 줄일 수 있을 것으로 예측하고 있다.

　오계환 단장은 “차세대 반도체 뿐만 아니라 고밀도 자기저장장치, 고밀도 CD, 광검출기의 첨단제품에 적용, 현재 100㎚ 급에 머물러 있는 반도체기술을 10㎚ 급으로 향상시킬 수 있다”며 “세계 전기전자, 광통신 시장에서 주도권을 확보할 수 있는 계기를 마련한 셈”이라고 말했다.

　한편, 나노종합팹센터와 한국기계연구원은(원장 황해웅)은 17일 오후 4시 기계연에서 임프린터장비 반입식을 갖는다.

　<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>