SEZ, 웨이퍼 세정장비에 3개 제품 추가

　반도체 웨이퍼 세정장비업체인 오스트리아의 SEZ그룹은 웨이퍼 세정 장비 시리즈 ‘다반치‘에 3가지 제품군을 추가했다고 12일 밝혔다.

이번 추가된 DV-28F은 200mm 웨이퍼용으로 최대 8개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다. 또 DV-34BF와 DV-24BF

4는 각각 300mm 및 200mm 웨이퍼에서 식각 및 세정을 비롯해 폴리머 제거 등이 가능하다.

이 회사의 다빈치 시리즈는 단일 웨이퍼 습식 공정 장비로 90nm 이하의 기술노드까지 세정이 가능하다.

SEZ는 지난 2000년 말 엔지니어 및 마케팅 인력이 주축이 된 한국지사를 설립하고 영업활동을 전개하고 있다.

<심규호기자 khsim@etnews.co.kr>