주성, 나노종합팹센터에 화학기상증착장비 공급

　주성엔지니어링(대표 황철주 http://www.jseng.com)은 23일 한국과학기술원(KAIST)의 나노종합팹센터와 26억원 규모의 화학기상증착 장비 공급계약을 체결했다고 밝혔다.

　주성엔지니어링의 화학기상증착장비는 다양한 나노 공정기술에 적용 가능하도록 플라즈마 및 저압공정 처리기능을 지원하는 다목적 장비다.

　주성엔지니어링측은 “차세대 국가 프로젝트인 나노기술의 구심적 역할을 수행할 나노종합 팹센터에 장비를 공급한다는 점에서 의미가 있다”며 “이번 계약으로 플라즈마 화학기상증착장비 사업확대에 이어 나노반도체 부문 장비시장 선점효과도 거둘 수 있게 됐다”고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>