벤처기업 \`지온21\`, 일본 하마마쓰 제품인증 획득
300mm 웨이퍼 분석용 프로버가 국내 벤처기업에 의해 개발됐다.
지온21(대표 최무웅 http://www.zeonis21.com)은 300mm 웨이퍼 분석용 프로버를 국내 최초로 개발, 일본의 검사장비 전문업체인 하마마쓰로부터 제품인증 획득 및 모듈공급 계약을 체결했다고 22일 밝혔다.
지온21은 최근 삼성전자와 데모 작업을 완료하고 내년 초에 장비 공급에 나서는 등 연간 150억원 규모로 추정되는 국내시장을 적극 공략하는 한편 내년부터 하마마쓰와 공동으로 동남아 및 세계시장을 공동으로 개척할 예정이다.
지온21의 최무웅 사장은 “세계적으로 300mm 웨이퍼용 프로버를 개발한 회사가 소수에 불과한 데다 해외 경쟁사 대비 품질과 가격경쟁력이 뛰어나 장비국산화에 인한 수입대체 효과는 물론 해외시장 개척에도 유리한 조건을 갖췄다”고 말했다.
웨이퍼 분석용 프로버는 반도체 개발 및 제조과정에서 웨이퍼 안의 불량칩을 찾아내 불량원인을 분석해 주는 장비로 반도체 생산수율 향상을 위해선 필수적이다. 최근 반도체칩 고집적화에 따른 회로선폭의 미세화 및 멀티메탈 레이어(Multi-metal Layer) 증가에 따라 웨이퍼 표면 분석에 대한 중요성과 역할은 날로 증대되고 있다.
지온21은 이번에 개발한 TSP(Top Side Prober) 방식제품 외에도 내년에는 웨이퍼 양면을 동시에 검사하는 DSP(Double Side Prober) 제품을 추가로 개발해 제품을 다양화하고 세계 최초로 자동정렬 기능이 내장된 분석용 프로버의 특허를 출원, 기술부가 사업을 한층 강화한다는 계획이다.
<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>
