SEZ, "한국 반도체장비시장 본격 공략"

　1일 방한한 SEZ그룹 에곤 푸지 회장은 “삼성전자 300㎜ 웨이퍼 전용팹인 12라인에 SEZ가 최근에 개발 완료한 습식 식각장비인 스피너를 공급키로 했다”며 “이를 계기로 지금까지 미국 및 유럽에서 얻은 명성을 한국시장에서도 발휘하게 됐다”고 밝혔다.

　SEZ는 이를 위해 엔지니어 및 마케팅 인력이 주축이 된 한국지사를 지난 2000년말에 설립했으며 삼성전자뿐 아니라 하이닉스, 동부아남반도체 등에도 데모용 장비를 공급하는 등 적극적인 영업활동을 벌이고 있다.

　SEZ가 이번에 공급한 스피너는 여러 개의 웨이퍼를 한번에 식각하는 배치타입과 달리 웨이퍼를 하나씩 식각하는 싱글타입으로, 4개의 프로세스 체임버를 갖춰 생산성을 향상시킨 것이 특징이다.

　일반적으로 싱글타입 스피너는 배치타입에 비해 생산성이 떨어지는 반면 정교한 식각이 가능해 나노급 미세공정에 주로 도입될 전망이다.

　에곤 푸지회장은 “이번에 공급한 장비는 환경친화적이며 비교적 비용이 싼 케미컬을 처리할 수 있는 최신 장비”라며 “300㎜웨이퍼 세계 최대 생산업체인 삼성전자 양산라인에 공급함으로써 한국뿐 아니라 다른 나라에서도 영업이 한층 탄력을 받을 전망”이라고 말했다.

　한편 스위스 취리히에 본사를 두고 있는 SEZ는 지난해 습식 식각장비로 1조4000억원의 매출을 올렸으며 싱글타입 스피너의 경우 세계 시장의 66%를 점유하고 있다

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>