한국디엔에스, 삼성에 에처·스트리퍼 공급

　한국디엔에스(대표 임종현 http://www.kdns.co.kr)는 다음달부터 삼성전자의 5세대 TFT LCD라인(C6)에 들어갈 300억원 규모의 에칭·박리설비를 대량 공급할 계획이라고 25일 밝혔다.

　이 회사가 삼성전자에 공급할 장비는 인라인 에처스트리퍼, 로컬스트리퍼, 면취후세정기 등이다.

　이 회사가 이번에 새로 개발한 인라인 에처스트리퍼<사진>는 1100×1350㎜ 기판 크기의 LCD 원판 유리기판 표면에 형성된 미세회로를 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분은 약품 등으로 제거하는 식각장비로 감광액 잔유물을 초음파, 고압 스프레이 등의 방식을 이용해 제거해준다.

　특히 이 제품은 유리기판 표면의 감광액 제거는 물론 미세 유기물까지 완벽하게 제거하며 차세대 공정에서 요구되는 식각균일도를 높이기 위해 5도 가량 기울여져 제작된 것이 특징이라고 회사측은 덧붙였다.

　임종현 사장은 “이미 올해초 LCD용 로컬스트리퍼를 삼성전자에 일부 공급한 데 이어 이번에 인라인 에처스트리퍼와 면취후세정기 등을 납품하게 됐다”며 “향후 6세대 및 7세대 등 차세대 장비 개발에도 박차를 가할 방침”이라고 말했다.

　한편 이 회사는 올해 보급형 액정표시장치(STN LCD) 장비 200억원, TFT LCD 장비 300억원 등 전계방출소자(FED) 장비 부문에서 500억원의 매출을 달성하는 등 총 1500억원의 매출을 올린다는 계획이다.

<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>