프롬써어티, 번인테스트 특허 취득

　프롬써어티(대표 임광빈 http://www.from30.co.kr)가 웨이퍼 번인 시스템(WBI) 관련 기술특허를 국내 최초로 획득했다고 18일 밝혔다.

　이번 특허는 흔히 웨이퍼 번인 시스템이라고 불리는 E어닐링(Electronic

Annealing) 시스템에 적용된 기술로서 집적회로부분 및 기판의 접속방법에 대한 원천 기술이다.

　임광빈 사장은 “이번에 획득한 특허는 300㎜ 웨이퍼에 대응하는 업계 유일의 전공정 테스트 제품인 SF-3000에 적용된 기술”이라며 “업계 최초의 특허를 획득함으로써 장비 수출까지 기대할 수 있게 됐다”고 말했다.

　그는 또 “이 특허기술이 적용된 E어닐링 장비는 일본이나 미국의 고가 최첨단 테스트 장비에 비해 가격이 저렴해 실제 생산라인에서 3개월이면 비용을 회수할 수 있다”고 덧붙였다.

　한편 E어닐링 시스템은 완제품 조립 단계가 아닌 웨이퍼 상태에서 반도체 불량여부를 검사하는 장비로 낱개로 분리된 반도체 패키지를 일일이 검사하는 것보다 공정시간을 크게 단축할 수 있다.

　프롬써어티는 현재 200㎜와 300㎜ 웨이퍼에 대응하는 E어닐링 시스템을 개발, 삼성전자 양산라인 등에 공급하고 있다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>