넥스타테크놀로지, 다층박막 두께 자동측정기 개발

　반도체장비업체 넥스타테크놀로지(대표 김정덕 http://www.nexstar21.com)는 플라즈마디스플레이패널(PDP)용 다층박막 두께 자동측정장비(모델명 NST-1500)를 개발했다고 23일 밝혔다.

　상하좌우 이동용 리니어모터, 두께 측정용 센서, 위치검출용 비전(vision) 시스템 등이 장착된 ‘NST-1500’은 박막 두께가 300옹스트롬(Å)∼50미크론(㎛)인 산화주석인듐(ITO), 산화마그네슘(MgO) 등 다양한 종류의 다중코팅막을 비파괴방식으로 자동측정할 수 있는 장비다.

　또 자체 개발한 반사형 간섭분광방식의 비접촉·비파괴 광학측정센서와 알고리듬을 적용해 측정정밀도가 뛰어나고 측정 소요시간이 짧다는 것이 특징이다.

　넥스타테크놀로지는 최근 이 장비를 국내 PDP 제조업체에 공급, 성능 및 안정성에 대한 검증작업을 마쳤으며 향후 웨이퍼·액정표시장치·유기EL·PDP 등에 적용하는 인라인용 두께측정장비와 결함검사장비, 3차원 검사측정장비 등을 추가로 개발해 사업영역을 차세대 비파괴검사장비 전반으로 확대한다는 계획이다.

　김정덕 사장은 “NST-1500 제품은 단일박막은 물론 다층박막을 검사할 수 있는 세계 유일의 장비인데다 미국이나 일본산 장비에 비해 가격경쟁력이 높아 시장전망이 밝은 편”이라고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>