관련 통계자료 다운로드 10대 IC 제조업체 기술 수준 통계표 반도체 장비에는 가공장비, 후공정장비, 인쇄장비, 소자장비 등이 포함되는데 이 가운데 핵심은 반도체 칩의 노광·식각 및 박막 생성 등에 이용되는 장비와 각종 시험장비를 망라한 미세 가공장비라 할 수 있다.
중국의 반도체 전용 장비 제조산업은 지난 60년대 초반에 태동됐다. 이후 다이오드, 트랜지스터 소결로, 용접기기, 패키징기 및 절삭기 등 장비가 개발·생산됐고 60년대 말부터 70년대 초에는 집적회로(IC) 생산업체들이 잇따라 설립되면서 반도체 전용 장비 제조산업이 활성화되기 시작했다. 이때 Ф50㎜, Ф75㎜ 반도체 생산라인 장비가 제조돼 양산에 돌입하기도 했다.
지난 80∼90년대에는 국가가 앞장서 새로운 IC생산을 위한 핵심장비 및 반도체 미세 가공장비의 연구·개발(R&D)에 주력, 회로선 폭이 0.5∼1㎜ 생산장비를 제조해 IC 연 생산량이 7000만개에 이르렀다.
현재 중국에는 반도체 전용 장비 연구·생산 업체가 60개를 넘어서고 있고 IC전용 장비 생산품목이 100여 종에 달하고 있다.
이처럼 지난 90년대 이후 중국 반도체 제조산업은 급속히 성장했지만 반도체장비 제조산업은 발전을 이룩하지 못했다. 기술·안정성·신뢰성 및 자동화 수준이 세계 수준에 비해 10∼15년 뒤떨어졌다는 평가를 받고 있으며 특히 최근 들어서는 중국의 반도체 장비가 중국산 위주에서 수입산으로 빠르게 바뀌고 있다.
하지만 최근 수년동안 화징·화웨 등 중국의 대형 기업들이 장비 생산규모를 늘리고 있고 상하이 버이링·수도강철NEC·상하이센진반도체 등 외국계 합작기업과 모토로라(톈진)반도체 등 외국 기업 공장들이 속속 설립되는 등 중국 IC전용 장비시장은 물론 기술이 향상되고 있다. 하지만 이런 기업들은 생산라인을 직접 외국으로부터 가져오고 있으며 중국의 중·소기업들만 토종 장비를 사용하고 있는 실정이다.
한편 반도체 전용 장비 수입 의존도를 줄이고 중국 자체 장비 및 계기 생산수준을 향상시키기 위해 중국 정부는 정책적 지원과 투자를 강화, 전용 장비산업을 적극 부양하고 있어 중국의 토종 반도체 장비업체들은 전례없는 호기를 맞고 있다.
현재 중국 IC 전용 장비시장은 화동권역 및 동남연해지역과 베이징·톈진·상하이·우시·쑤저우 등 대도시에 집중되고 있다. 세계 주요 IC업체들이 중국에 반도체 업체를 설립하고 세계 시장을 겨냥한 근거지로 활용하고 있어 올해를 기점으로 중국은 IC 전용 장비 생산에 대한 투자가 늘 것으로 전망된다. 또 2002∼2005년 중국 정부와 업계는 반도체 전용 장비산업 분야에서 비동기식 중복 광기록기, TCP식각장비, 고급 이온주입기, 고속 열처리 장비, 초박막 생성장비, 초정화장비, CMP장비 연구에 힘을 쏟기로 했다. 또 구리배선, SOI, SiGe 외연 등 신기술에 적합한 장비 및 후속 기술 장비도 연구할 계획이다.
향후 중국의 장비시장은 △8인치, 6인치 생산라인 △기존 생산라인의 기술 개선 및 확장 △IC 생산기술의 업그레이드와 제품 갱신으로 인한 부분적 핵심장비의 업데이트용 등에 집중할 것으로 보인다. 특히 디지털 가전제품, 소형 정보 단말기, 이동전화용 첨단 반도체 등의 수요를 충족시키기 위해 전세계적으로 새로운 반도체 제조장비의 연구개발에 대한 경쟁이 날로 치열해지고 있어 중국 반도체제조장비 시장 수요는 오는 2005년 950억위안에 이를 것으로 관측된다.
중국 반도체장비 산업 전문가들에 따르면 중국 반도체장비 시장은 지금보다 오히려 앞으로 한층 더 거대한 잠재력을 가지고 있는 것으로 분석되고 있다. 지난해 중국 IC 수요는 1260억위안이었으나 향후 연 19% 성장할 경우 오는 2005년 중국은 8인치 생산라인 32개(이미 구축됐으나 아직 양산에 돌입하지 않은 3개 8인치 생산라인 제외), 6인치 20개(기존의 4, 5, 6인치 생산라인 제외)를 보유하게 된다. 또 오는 2010년에는 8인치 생산라인 46개, 12인치 생산라인 8개가 구축돼야 국내외 수요를 맞출 것으로 예상된다.
이를 위해서는 총 1360억달러가 필요하며 이 가운데 생산라인 구축장비에 대한 투자가 60%에 달할 전망이다.
