<한국반도체산업대전>출품업체(2)

　◇이화다이아몬드공업

　

　이화다이아몬드공업(대표 정하석 http://www.ehwadia.co.kr)은 다이아몬드 공구전문업체로 반도체 다이아몬드 공구 중 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 패드 컨디셔너를 비롯한 5종의 제품을 개발, 공급하고 있다.

　이 회사의 CMP 패드 컨디셔너는 다이아몬드 부착력이 강하고 웨이퍼 표면제거 속도가 빠른 융착형 방식과 깨끗한 표면 관리 및 CMP의 슬러리 오염을 감소시킬 수 있는 전착형 방식의 장점만을 채택한 새로운 BSL(Brazed Single Layer)방식 제품이다.

　또 격자구조의 도트방식 제품이어서 기존 무질서한 다이아몬드 배열보다 제품의 재현성을 향상시켰고 패드의 컨디셔닝 깊이를 향상시켜 웨이퍼 표면제거 속도가 개선됐다.

　반도체업체 사용환경에 따라 다이아몬드 개수와 간격 조정이 가능하며 다이아몬드 탈락 및 본드층 마모율 감소, 내부 검사공정 중 불량 다이아몬드 제거 등의 기능 특성도 제공한다.

　특히 웨이퍼 대형화와 고집적화로 CMP공정이 핵심공정으로 부각되고 있는 상황에서 웨이퍼 표면제거 속도 향상, 미세 스크래치 억제 등의 기능으로 웨이퍼 수율을 극대화할 수 있도록 제작됐다.

　기술연구소 최성국 상무는 “올 CMP 패드 컨디셔너는 지난해보다 30억원 가량 확대된 100억원 규모에 이를 것”이라며 “국내 시장 공략은 물론 연간 1억달러 규모의 해외 시장에도 적극적으로 진출할 계획이다”고 말했다.

　

　◇금강쿼츠

　지난 78년 설립된 금강쿼츠(대표 김창길 http://www.kkquartz.co.kr)는 이번 전시회에 다양한 종류의 쿼츠 및 특수램프를 개발, 반도체업체에 공급하고 있다.

　쿼츠는 고순도·내열성·내화학성 및 우수한 빛 투과성의 특징을 지니고 있으며, 특히 1000도 이상의 고온과 강산 및 강알칼리 용액 불순물의 영향을 받지 않기 때문에 고집적도의 반도체 칩 및 LCD기판을 생산하는 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 운반·저장·세정하기 위한 용기로 사용된다.

　금강쿼츠는 3인치에서 12인치 장비에 이르기까지 다양한 반도체용 쿼츠제품을 선보인다. 확산, 화학증착, 박막, 식각 등 전공정을 포함하며 반도체 라인 외에도 각종 연구실 및 과학기기산업에서 사용되는 쿼츠제품도 이번 전시회에서 만날 수 있다.

　이 중 열처리공정(RTP)에 사용되는 쿼츠웨어는 금강쿼츠가 국내 최초로 국산화한 품목으로 선택적으로 빛 파장을 투과시키는 특수제품이다.

　금강쿼츠는 모든 쿼츠웨어에 대해 기본 제품 외에 고객의 사양에 맞는 제품을 주문생산하고 있다. 이와 함께 각종 산업에서 열원 및 광원으로 널리 사용되는 할로겐 램프, 할로겐 히터 및 UV램프도 자체 개발·출품됐다.

　ISO9002 및 ISO14001을 획득하는 등 국제 기준에 맞는 품질관리시스템을 적용하고 있는 금강쿼츠는 미국·일본·싱가포르·말레이시아·대만 등 현지 에이전트를 활용, 해외시장 공략에 박차를 가하고 있으며 현재 전체 물량의 15% 가량을 수출하고 있다.

　

　◇에프에스티

　코스닥 등록기업인 에프에스티(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)는 포토마스의 오염물질을 제거해주는 페리클과 온도제어장치인 칠러 등 총 3가지 주력제품을 선보인다.

　칠러는 기존 냉각장치에 이용하는 프로온가스나 오존 파괴 화학물질을 사용하지 않고, 펠티어 효과를 기본이론으로 하는 열전냉각을 이용하는 장비다. 이 회사의 칠러는 시장에서 판매되는 타사 제품에 비해 전기소모량이 적으며, 높은 신뢰성을 자랑한다.

　페리클은 레티클이나 마스크의 표면을 부유입자나 기타 오염원으로부터 보호하기 위해 사용되는 앏고 투명한 막이다. 이 막은 피막 처리된 알루미늄에 접착돼 여러 제품 형태를 갖춰 레티클 위에 부착된다.

　일반적으로 프로젝션의 경우 레티클의 크롬 면에만 부착되나 스테퍼는 레티클의 양면에 부착되기도 한다.

　페리클의 주요 기능은 레티클을 공정에 사용할 때 이물질이 발생해도 웨이퍼상 패턴 형상화에 영향을 주지 않는 거리에 놓이도록 하는 기능을 수행한다.

　이 회사의 한 관계자는 “최근 반도체 경기가 회복세로 전환하고 있어 올해 150억원의 매출 달성이 무난할 것으로 전망하고 있다”며 “최근 대만 테코, 일본 레이저텍과 각각 반도체 장비 및 재료부문에서 사업제휴를 맺고 해외 시장 공략과 사업다각화에 나서고 있다”고 말했다.

　

　◇삼우이엠씨

　삼우이엠씨(대표 정규수 http://www.sam-woo.co.kr)는 반도체 시공 및 관련 장비업체로 주력 전시품은 SGP(Steel Gypsum Pannel)와 스틸콤 패널 등 클린룸 무정전 패널 2종이다.

　SGP는 무균·무진·항온·항습 등의 실내환경 유지를 위해 정전기가 발생하지 않도록 정밀하게 제작·가공된 공업용과 바이오클린룸에 판막이로 사용된다.

　또 강력한 내구성을 위해 패널의 도장방식은 에폭시 파우더 페인트와 실리콘 소부도장을 채택해 흠집이 생기지 않으며 우수한 내식성을 갖고 있다.

　이 제품은 외부 충격에 강한 이지아이 철판과 충격에는 약하지만 단열·방화·방음·차음의 효과를 극대화할 수 있는 석고보드로 이상적으로 조합됐다.

　스틸콤 클린 패널은 알리미늄 혹은 파이퍼 하니콤 코어를 심재로 사용, 양면에 압연컬러 철판을 압착시킨 제품으로 내화 성능이 좋고 무게가 가벼워 칸막이 설치 및 이동 시 취급이 용이하다. 특히 패널간 공기층이 있어 방음이 뛰어난 것으로 평가받고 있다.

　이 회사는 첨단 무정전 패널 발명에 관해 특허를 갖고 있는 반도체 관련 클린룸 시장을 선도하는 중견기업이며, 중국·싱가포르·말레이시아·태국·필리핀 등 아시아 국가와 미국·멕시코 등에도 제품을 판매할 정도로 해외 시장에서도 기술력을 인정받고 있다.

　

　◇코미코

　지난 96년 설립된 코미코(대표 전선규 http://www.komico.com)는 ESC(Electro Static Chuck)·볼실드·크램프링·샤워헤드·돔세라믹 등 총 10여종의 반도체 생산 관련 부품을 선보인다.

　이 회사의 ESC는 반도체 웨이퍼 제조 에칭공정에서 정전기를 이용해 웨이퍼를 고정시켜주는 기능부품으로 기존 메커니컬 크램프를 사용할 때 발생하는 미세입자(파티클)를 방지할 수 있다. 특히 미국·일본 등에서 수입되던 제품이어서 개당 1400만원 정도의 수입대체효과가 기대된다.

　볼실드는 스퍼터공정에서 챔버월을 보호하는 기능을 수행한다. 이 회사는 올초 국산화에 성공한 뒤 월 30여개의 생산능력을 확보하고 있다.

　샤워헤드는 반도체 에칭공정의 플라즈마를 발생시켜주는 가스공급 부품으로 미국에 위치한 하이닉스 유진공장에 공급됐으며, 현재 대만 UMC 등에도 납품되고 있다.

　이 회사는 식각장비(에처)와 LCD 스퍼터용 부품 세정으로 사업을 시작한 지 7년 만에 코스닥시장에 등록했다. 현재 이 회사는 매년 100% 가까은 매출성장률을 보이고 있으며, 올해는 230억원의 매출과 40억원 가량의 영업이익을 기대하고 있다.

　회사 관계자는 “그동안 축적된 표면처리기술을 바탕으로 반도체 장비부품의 국산화에 더욱 매진할 방침”이라며 “대일 수출량 확대에 회사의 전력을 기울일 계획이다”고 말했다.

　

　◇순환엔지니어링

　순환엔지니어링(대표 정훈택 http://www.soonhan.co.kr)은 리니어모터·리이어스테이지·싱크넷·모션컨트롤러·에어베어링 스테이지·디지털 리니어 엠프 등 다양한 제품군을 선보인다.

　리니어모터는 기존 리니어 서버모터의 개념을 완전히 바꾼 신개념 모터로 반도체 및 LCD 조립장비나 검사장비 등에 사용된다.

　이 제품은 기존 볼스크루의 회전운동을 별동의 장치없이 직선운동으로 전환, 볼스크루 모터를 사용할 때보다 커플링 등의 부품 수를 대폭 줄였다. 특히 이 제품은 인코더 및 센서를 일체화한 비접촉식 제품이어서 부품 마모율을 줄이고 정밀도를 크게 향상시킬 수 있다.

　에어베어링 스테이지는 나노급 고정밀도와 정속성이 요구되는 고가의 비전 검사기 등에 사용되며 50나노에 달할 정도로 반복정밀도가 뛰어나다.

　이밖에 이 회사는 리니어모터를 정밀하게 제어하는 데 사용되는 모션컨트롤러와 리니어모터 스테이지도 함께 선보인다.

　이 회사는 지난 93년 7월 설립된 리니어모터 토털솔루션업체로 LG전자·LG필립스LCD·삼성전자·삼성SDI·삼성전기 등 대기업과 다수의 장비업체에 리니어스테이지·컨트롤러 등의 제품을 공급하고 있다.

　특히 컨트롤러의 경우 일본을 제외한 아시아 전역의 판매권을 획득, 싱가포르와 대만·홍콩·말레이시아 등에서 매년 판매량을 늘리고 있다.

　회사 관계자는 “이 제품은 기존 볼스크루 모터보다 성능이 획기적으로 개선돼 사용이 점차 증가하고 있어 올해 매출은 지난해보다 100% 가량 증가한 80억원에 이를 것”이라고 말했다.

　<박지환기자 daebak@etnews.co.kr>