폼팩터, 300mm 웨이퍼용 6터치다운 프로브카드 출시

　세계적인 프로브카드업체 미국의 폼팩터가 300㎜ 웨이퍼를 검사할 수 있는 ‘PH150’ 웨이퍼 레벨 프로브카드를 개발했다고 29일 밝혔다.

　웨이퍼 레벨 프로브카드는 반도체 제조공정을 통해 웨이퍼 레벨의 칩을 완성한 후 이를 각각의 칩으로 절단하기 전에 칩의 성능을 검사, 불량을 판별하는 장치다.

　‘PH150’은 회로패턴 가공이 완료된 300㎜ 웨이퍼 상태의 칩들을 검사블록으로 지정해 6번의 터치다운만으로 웨이퍼 한장을 모두 검사할 수 있으며 300㎜용 6터치다운 제품이 개발되기는 이번이 처음이다.

　이 제품은 일본의 아드반테스트와 안도, 미국 테러다인 등의 300㎜ 자동화검사장비와 호환되며 일렉트로글라스·도쿄엘렉트론 등의 프로버에 장착이 가능하다.

　폼팩터는 이 제품을 지난주 미국에서 열린 세미콘웨스트2002 전시회에서 발표했으며 한국지사인 폼팩터코리아(대표 김성민 http://www.formfactor.com)를 통해 우리나라의 소자업체에 공급할 예정이다.

　김성민 사장은 “2001년 초 4터치다운 방식의 200㎜ 웨이퍼용 프로브카드를 선보인 데 이어 이번에 6터치다운 300㎜용 제품을 업계 최초로 개발함에 따라 300㎜ 장비시장에서도 시장점유율 1위를 고수할 수 있을 것으로 보인다”고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>