파이컴, 반도체 웨이퍼레벨테스트용 극미세 프로브카드 개발

　반도체 및 액정표시장치(LCD) 검사장비 전문업체 파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.co.kr)은 웨이퍼 레벨 반도체 검사용 극미세 프로브카드 개발에 성공했다고 14일 밝혔다.

　‘NTPC(New Technology Probe Card)’란 이름의 극미세 프로브카드는 반도체 제조공정을 통해 웨이퍼 레벨의 칩을 완성한 후 이를 각각의 칩으로 절단하기 전에 칩의 성능과 기능을 검사, 불량을 판별하는 장치다.

　특히 이 장치에는 파이컴이 최근 2년 동안 400억원 가량을 투입해 마련한 자체 200㎜ 반도체 일관생산라인(FAB:팹)에서 생산되는 미세전자기계시스템(MEMS)을 내장, 종전 제품에 비해 두배 정도 미세화한 최대 60미크론(1㎛은 100만분의 1m)의 피치를 제공한다. 또 동시처리가 가능한 병렬회로의 수도 종전 32∼64개보다 많은 64∼128개에 달해 작업속도를 현저히 개선할 수 있다는 것이 회사 측 설명이다.

　파이컴은 ‘NTPC’를 이달 17일부터 미국에서 열리는 ‘세미콘웨스트2002’ 전시회에 출품하는 한편, 하반기중 LCD에 적용할 수 있는 ‘NTPU’를 개발해 시장공략에 나선다는 계획이다.　

　이억기 사장은 “이번에 개발한 ‘NTPC’는 미세화 수준을 세계 최고 수준으로 높인데다 최근 미국에서 열린 세미나에서 인텔과 마이크론테크놀로지 등의 소자업체들로부터 호평을 받은 바 있다”며 “세계 소자업계에서 웨이퍼 레벨 테스트가 보편화되는 추세여서 시장전망도 밝은 편”이라고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>