에프에스티, 삼성전자에 칠러공급

　반도체장비 및 재료업체인 에프에스티(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)는 삼성전자와 칠러(chiller) 공급계약을 맺었다고 19일 밝혔다.

　칠러는 반도체 제조공정 중 웨이퍼를 식각할 때 발생하는 열을 제어해주는 자동 온도조절 장치로 에프에스티가 공급할 장비의 규모는 총 13대다.

　에프에스티는 국내 최초로 칠러 부문에서 CE인증과 Semi-S2를 획득한 바 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>