큐빅비젼, 3차 검사용 광학검사장비 개발

　큐빅비젼(대표 안동주 http://www.qubicvision.com)은 와이어본딩 공정에서 디바이스의 불량을 검사할 수 있는 3차 검사용 광학검사장비를 개발했다고 2일 밝혔다.

　이 회사가 지난 2년 동안 15억원의 연구비를 들여 개발한 광학검사장비는 웨이퍼에서 분리한 칩 상태의 1차 광학검사와 리드프레임 다이본딩 후 실시하는 2차 검사를 제외한 와이어본딩 공정중 와이어의 단락상태나 엉킴 등을 검사하는 3차 검사에 적용되는 장비다.

　그동안 3차 검사는 현미경을 이용한 수작업으로 진행돼 왔으나 자동검사장비가 개발된 것은 이번이 처음이다.

　큐빅비젼의 검사장비는 3차용 광학 비전검사 외에도 범프의 상태, 디바이스용 기판의 상태, 본딩와이어의 루프 프로필과 높이 등을 측정·검사할 수 있다.

　큐빅비젼은 이 장비에 대해 우리나라를 비롯한 미국·일본·싱가포르·말레이시아 등에 특허를 출원했으며 말레이시아의 우니셈과 모토로라 등과는 150만달러 규모의 수출계약을 체결한 상태다.

　이 회사 안동주 사장은 “이번에 개발한 3차용 자동검사장비는 그동안 수동으로 실시하던 검사과정을 자동으로 전환할 수 있어 생산수율 향상, 인건비 절감, 오차 가능성 축소 등의 효과를 거둘 수 있다”며 “싱가포르의 핸들러 제조업체, 대만의 본더 제조업체로부터 수주가 낙관되고 말레이시아·태국·필리핀·유럽국가 등의 업체들로부터도 좋은 반응을 얻고 있어 올해 1000만달러의 매출이 가능할 것”이라고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>