에스이오, 대형미세박막 표면분석기 개발

사진; 에스이오가 자체 개발해 곧 양산에 들어갈 대형 미세박막표면분석기 CTA.

　미세박막표면처리기술 기반의 디스플레이 제조공정을 효율화할 수 있도록 도와주는 분석장치가 국내 벤처기업에 의해 개발됐다.

　안산테크노파크 소재 벤처기업 에스이오(대표 박장호 eovyhttp://www.s-eo.com )는 미세박막의 표면 청정도와 박막표면의 처리결과를 자동분석하는 미세박막표면처리분석기 CTA(Cleanness and Treatment Analyzer)를 개발, 안정성 검증을 마치고 이달부터 본격 생산에 들어간다고 27일 밝혔다.

　이 장비는 CCD카메라로 박막 표면에 점착된 증류수의 물방울 모양을 초당 30프레임의 이미지로 촬영·분석해 박막 표면의 친수성과 소수성을 일일이 확인·분석해 불량여부를 사전에 알 수 있도록 해주는 장비로, 약 1000옹스트롬(1Å은 100억분의 1m) 이하의 두께를 가진 미세박막 디스플레이 소자의 분석이 가능하다.

　에스이오측은 “그동안 박막 디스플레이 생산과정에서 출하 전에 제품의 불량 여부를 확인할 수 없었던 만큼 이 장비를 통해 유기EL·PDP·반도체 웨이퍼 등의 생산·품질관리 효율을 크게 높일 수 있을 것으로 본다”고 설명했다.

　이 회사는 최근 국내 모 대기업의 PDP 생산라인에 박막 크기가 370×470㎜인 제품에 대한 세정결과를 평가하는 분석기기를 공급했다고 밝혔다.

　에스이오는 특히 10월부터 미세박막 표면분석기를 중국·대만지역에 수출할 계획으로 현지업체와 상담을 진행중이며 오는 11월 1일 세계적인 분석기기 전시회인 싱가포르 CIA전시회에 이 장비를 출품, 본격적인 해외시장 개척에 나설 예정이다.

　에스이오측은 “최근 미세박막 디스플레이 기기의 대형화 추세에 맞춰 크기가 1000×1200㎜까지의 박막 표면분석이 가능한 신제품 개발을 마무리해 12월중 출시할 계획”이라고 밝혔다.

　이 회사는 이미 지난해말 접촉각분석기를 개발하는 과정에서 모 대기업으로부터 미세박막표면처리분석기 개발요청을 받고 약 6개월 동안 개발한 결과 이 장비를 본격 생산하게 됐다고 밝혔다.

　<이재구기자 jklee@etnews.co.kr>