<한국반도체산업대전2001>재료분야출품업체:테크노세미켐

◆테크노세미켐-테오스

　테크노세미켐(대표 정지완 http://www.tscc.co.kr)은 1986년부터 반도체, TFT LCD 및 광섬유 제조공정용 고순도 최첨단 화학재료의 국산화에 힘써온 회사다.

　테크노세미켐은 이번 전시회에 반도체 제조과정중 산화막 형성을 위한 화학기상증착 재료인 TEOS, 웨이퍼에 불순물을 주입해 P타입 또는 N타입의 반도체 특성을 갖게 만드는 도팬트(dopant)류를 전시한다.

　이밖에 실리콘 웨이퍼 표면 세정공정, CVD 공정 전후 산화막 식각 및 표면세척 그리고 금속배선공정의 실리콘 웨이퍼 표면 세정에 사용되는 불산(HF)·불화암모늄(NH4F)·버퍼드 불산(BHF)과 액정표시장치(LCD)의 회로 패턴을 형성시키기 위해 필요없는 부분을 선택적으로 제거하는 용도로 사용되는 화학물질인 혼산(etchant)류도 출품하는 등 반도체 제조공정중 사용되는 각종 화학약품을 선보인다.

　최근 CMP 슬러리, LIB 전해액 및 MOCVD 선행액 등을 자체개발한 테크노세미켐은 반도체 제조용 화학기상증착 재료 생산업체인 자회사 케이와이휴텍을 흡수합병하고 LG산전 신소재 사업부문을 인수했다.

　이에 따라 TFT LCD 제조공정에 사용되는 크롬 에천트의 주원료인 CAN과 기존의 일반자석에 비해 10배 이상의 강한 자성을 갖고 있어 헤드폰, 소형모터, 스피커 등 전자제품에 필수적으로 사용되는 첨단 소재 영구자석인 ND자석을 생산하는 등 사업영역을 확장하고 있으며 지속적인 R&D 투자를 통해 반도체 및 LCD 관련 환경친화형 재료 개발에 힘쓰고 있다.